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HIROX
SH-1500 / SH-3000

桌上型扫描电子显微镜



  Hirox的SH-1500/SH-3000桌上型扫描电镜又称为iSEM / MINI-SEM / Desktop SEM / Tabletop SEM / 台式电子显微镜 或 台式扫描电镜)

  适合极高倍率观察需要的Hirox SH-1500 Tabletop SEM桌上型扫描电镜,提供具有更丰富细节和景深的图像,轻松超越普通光学检测的极限!

   Hirox SH-1500 Tabletop SEM的桌上型设计(DeskTop/TableTop)使系统更灵活,更易用,即避免了复杂的系统维护和测试时间,同时又节省了制做样品的高昂成本,因此也更具性价比。SH-1500 Tabletop SEM的数字化的图像采集和储存或传输使之无论在企业、科研或教学等应用领域具有更高的效率。

 

超越光学极限的高倍率

■ 15,000X—30,000X
■ 极富立体感的画面

非导电性样品无须涂层、快速简便

■ 任何人都能使用的自动调整功能
■ 交替样品后两分钟即可获得满意的影像
■ 体积小巧,灵活快捷
■ 最便利化的GUI界面(Graphic User Interface)
■ WINDOWS XP 环境

影像鲜明的扫描电镜

■ 高分辨率的影像最高可达5百万像素
■ 极大的景深层次丰富
■ 多种格式储存
■ 多种测定功能:长度、角度等

 

高倍率扫描电子显微分析

● 倍率范围宽广

  最低倍率20x,最高倍率可达15,000x(30,000x),超越光学极限,分辨率高,提供极富立体感的宏观形貌或丰富细节的显微画面。

● 最便利化的GUI界面

   基于WINDOWS XP环境的应用软件拥有最便捷直观和友好的图形用户界面(Graphic User Interface)。包括倍率选择、自动对焦、自动亮度/对比度调整、旋转画面、2D测量(长度、面积、角度等),拍摄、打印,以及不同扫描分辨率的选择等操作都可在同一界面里轻松完成。

● 无须制样的快速检测

   即使是非导电性的样品也无须喷金涂层制样(Coating)。外置旋转真空泵及内置自动真空泵抽放简便快速,几分钟内即可进行交替样品、扫描并获得满意的影像。

● 高效的样品仓设计

  样品仓的精巧设计保证了观测过程的顺畅、高效和直观。简洁的三轴向运动机构可通过面板旋钮灵活操纵X轴、Y轴及360度旋转(R轴)。样品直径最大可达75mm,高度10~15mm。更配备多种型号的样品载物台附件,最大程度契合不同形状及类型的检材。

 

能谱仪元素分析

 

● EDS能谱分析系统(选件)

  HIROX SH-1500/SH-3000桌上型扫描电镜可内置EDS-X射线能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer),在对样品进行可视显微观察的同时进行检材表面元素的成分分析,自动元素识别。

  在很高的真空环境中,HIROX TableTop-SEM可提供任意点的精确分析资料,借助SDD技术(硅漂移技术)化学成分的定性和定量分析只需简单地点击鼠标!

  从“硼”至“铀”,SDD探测器无须使用液氮,完全免维护,稳定提供高达100,000cps计数率的最佳性能和可靠性。



● 能谱分析软件(选件)

  非常强大的能谱分析软件系统可以进行各种可能的分析方式:元素分布曲线、映射图、束位修正光谱映射图……借助可变的加速电压(1~20kV/30kV,),HIROX SH-1500/SH-3000桌上型扫描电镜可完美地适合元素分析的需求!

 






◇生命科学
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  Metallographic
◇失效分析
  Failure Analysis

    

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型号
SH-1500
SH-3000
倍率
20~15,000x (数字放大: 2x, 4x)
20~30,000x (数字放大: 2x, 4x)
加速电压
1kV-20kV
观察模式
标准模式 / 自动模式 / 手动模式
样品移送范围
X : 20mm, Y : 20mm, Rθ : n x 360?
最大样品直径
75mm
最大样品高度
12mm
25mm
电子枪
预对中钨灯丝
侦测系统
二次电子侦测器(SE Detector) / 背射电子侦测器(BSE Detector)[选件]
自动影像调节功能
自动初始化, 自动对焦, 自动亮度
扫描帧分辨率
640x480 / 1280x960 / 2560x1920 像素
图像存储
PC硬盘或其它储存介质
图片格式
BMP, JPG, PNG, GIF
数据显示
日期/时间/比例尺/加速电压/倍率
减压系统 (真空泵)
涡轮分子泵(TMP) 抽速70L/s 一台
旋转真空泵 抽速100L/min 一台
保护装置
电流过载保护功能
尺寸
主机
490(W) x 520(D) x 540(H) mm
旋转真空泵
150(W) x 200(D) x 215(H) mm